FeCl3蝕刻是最早使用的一種用于銅及合金腐蝕的加工方法，這種方法，原料容易獲得，價格便宜，配制簡單，易于操作，因此這一方法曾被廣泛采用，即便是現在也被較多的蝕刻廠所采用。

FeCl3對銅的蝕刻是一個氧化還原過程，在銅表面Fe3+使銅氧化成CuCl，同時Fe3+被還原成Fe2+。Cu+FeCl3＝CuCl+FeCl2，CuCl離子具有還原性，和鑫恒力蝕刻機中的Fe3+進一步反應生成CuCl2。生成的CuCl2具有氧化性，同時會與銅發生氧化還原反應：Cu+CuCl2＝2CuCl。

所以FeCl3蝕刻液是依靠FeCl3和CuCl2同時完成的。其中Fe3+的氧化能力強，蝕刻速度快，蝕刻質量好。相對而言，CuCl2在腐蝕機里蝕刻速度較慢，蝕刻質量差，隨著蝕刻液中Fe3+的消耗和CuCl2的增加而使蝕刻速度逐漸減慢，并使蝕刻質量惡化。當Fe3+消耗量達50%時，蝕刻機中的腐蝕速度和蝕刻質量都將不利于繼續進行蝕刻過程，而應更換蝕刻液。

在實際生產中，表示蝕刻液的蝕刻效能不是用Fe3+的消耗量來衡量，而是采用蝕刻機中銅的溶解量（單位為g/L）來衡量。銅在FeCl3蝕刻溶液中，最初蝕刻速度是恒定的。然而隨著腐蝕機中Fe3+的消耗，蝕刻液中銅含量不斷升高，當融銅量達到60g/L時，蝕刻速度會變慢，當蝕刻液中Fe3+消耗達到40%時或融銅量達到83g/L時，蝕刻速度會急劇下降，此時蝕刻機中的腐蝕液不能再繼續使用，而應考慮蝕刻液的再生或更新。

通常使用的FeCl3蝕刻液酸度都不高，所以FeCl3蝕刻液在腐蝕銅時，也伴有FeCl3和CuCl2的水解副反應：FeCl3+3H2O＝Fe(OH)3↓+3HCL，CuCl2+2H2O＝Cu(OH)2↓+2HCL。生成的氫氧化物不穩定，受熱易分解生成相對應的氧化物和水，這些氧化物一部分沉淀在蝕刻機水槽底部形成黃土樣沉積物，一部分懸浮于蝕刻液中，對抗蝕層產生一定的破壞作用：2Fe(OH)3＝Fe2O3↓+3H2O，Cu(OH)2＝CuO↓+H2O。

以下為鑫恒力客戶現場裝機圖：